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3D 센싱 ToF(Flash LiDAR) 측정장비

3D 센싱 ToF(Flash LiDAR)

3D 센싱 ToF(Flash LiDAR) 센서는 빛의 비행 시간을 이용하여 거리를 측정하고 3D 매핑 및 이미징을 수행하는 센서입니다. 3D 센싱은 크게 SL(Structured Light) 방식과 ToF(Time of Flight) 방식으로 나뉘는데, SL 방식은 주로 근거리에 강점이 있고, ToF 방식은 원거리에 강점이 있습니다. ToF 센서는 레이저 광원, 광학 시스템, 이미지 센서, 신호 처리 회로로 구성됩니다. 레이저 광원은 주로 VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser)을 사용하며, 광학 시스템은 레이저 빔을 피사체에 조사하고 반사된 빛을 이미지 센서에 집중시키는 역할을 합니다. 광학 시스템은 렌즈, 디퓨저, 필터 등으로 구성될 수 있습니다. 이미지 센서는 주로 SPAD (Single Photon Avalanche Diode) 픽셀을 사용하며, 반사된 빛의 시간차를 감지하여 거리 정보를 얻습니다. 신호 처리 회로는 이미지 센서로부터의 신호를 증폭, 변환, 필터링 등의 과정을 거쳐 최종적인 거리 데이터를 출력합니다.

ToF in-line inpection flow chart

아래는 3D 센싱 ToF(Flash LiDAR) 센서의 광학 부품; 렌즈, 디퓨저, VCSEL 등의 광량 분포와 전기 광학 특성을 측정하기 위한 장비로, 적분구, 온도 제어 모듈, 펄스 전원 공급 장치, 광 파워 미터 또는 분광 분석기로 구성됩니다. LIV 측정은 ToF 센서의 전압-전류-광 출력 간의 관계를 측정하는 방법으로, FoI(Field of Illumination)은 레이저의 발광분포와 광학부품의 light scattering 특성 및 성능을 평가하는 데 사용됩니다.

​전기광학적 특성분석에 대한 자세한 내용은 아래 링크를 참고해주세요.

SDV-300C

FoI 측정(코노스코프)
Vcsel FoI Conoscope

코노스코프 광학계를 이용하여 ToF 센서의 면발광 레이저의 광학 부품 렌즈, 디퓨저, VCSEL 등의 광량 분포를 측정하는 방법으로, 면발광 레이저의 광학 축과 수직인 평면에서 광량 분포를 측정하는 방식으로, 고속, 고정밀의 측정이 가능합니다. 

LIV-600S

LIV 측정(적분구)

Flash ToF LIV

LIV는 레이저 소자의 광파워-전류-전압 특성을 나타내는 그래프로, VCSEL의 성능을 평가하는 데 사용됩니다. LIV를 통해 임계 전류, 효율, 파장, 스펙트럼 등을 측정할 수 있으며 적분구, 온도 제어, 광파워 미터 또는 분광분석기 등의 장비가 필요합니다.

SC-300E

FoI 측정(이미징 스크린)
QC Flash ToF FoI

FoI(Field of Illumination) 측정 방식의 하나인 이미징 스크린 방식은 면발광 레이저의 광학 축과 평행한 평면에 스크린을 두고, 스크린에 투영된 광량 분포를 카메라로 촬영하여 측정하는 방식으로, 양산공정에서 저가, 고속 측정이 가능합니다. 

Goni-300S

FoI 측정(고니어 미터)
Goniometric ToF FoI

면발광 레이저의 광학 축을 중심으로 회전 광학계를 이용하여 광량 분포를 측정하는 방식으로 발광 분포뿐만 아니라 레이저 다이오드의 펄스 특성, 파장, 광출력, 전압, 전류 등의 전기적 특성의 정밀, 정확, 신뢰성 있는 측정이 가능합니다.

Spectroscopic BSDF

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